瑞芯微晶圆级芯片尺寸封装(WLCSP)的工艺流程通常包括以下主要步骤:
1. 晶圆制备
- 从硅锭上切割出晶圆,并进行研磨、抛光等处理,使其达到所需的平整度和粗糙度。
2. 芯片制造
- 在晶圆上通过光刻、蚀刻、掺杂等工艺制作出芯片的电路结构。
3. 凸点制作
- 在芯片的焊盘上形成金属凸点,通常使用金球凸点或铜柱凸点等。这一步骤可以通过电镀、植球等方法实现。
4. 晶圆减薄
- 将晶圆背面进行研磨减薄,以减少封装后的整体厚度。
5. 再布线层(RDL)形成
- 在晶圆表面制作重新布线层,用于连接芯片的焊盘和凸点,实现信号的重新分配。
6. 封装层沉积
- 在晶圆表面沉积一层绝缘的封装材料,如聚酰亚胺或环氧树脂等,以保护芯片和布线层。
7. 植球或凸点连接
- 在封装层上形成锡球或其他连接凸点,用于与外部电路板的连接。
8. 切割分离
- 使用切割工艺将晶圆切割成单个的芯片封装单元。
9. 测试和筛选
- 对封装好的芯片进行电气性能测试、功能测试等,筛选出合格的产品。
需要注意的是,具体的工艺流程可能会因瑞芯微的特定技术和产品要求而有所差异,同时封装工艺也在不断发展和改进,以提高性能、降低成本和满足市场的新需求。