卓胜微 MAX - SAW 滤波器采用 POI 衬底。POI 衬底在压电层和功能层表面以下增加额外的氧化埋层，能将声学能量限制在表面附近，从而改善频率温度系数（TCF）和品质因数（Q）。

虽然目前没有公开的具体数值，但基于 POI 衬底的特性以及卓胜微官方声称 MAX - SAW 在 sub - 3GHz 以下应用可达到 BAW 和 FBAR 的水平，可以推测其频率温度系数应该能达到较低的水平，可能与普通 BAW 滤波器的 TCF 范围（-20~30ppm/°C）相近甚至更优。在品质因数方面，应该也能达到较高的值，处于同类滤波器的先进水平，从而实现低插入损耗、高带外抑制等高性能指标。