卓胜微在晶圆制造工艺研发方面取得了显著进展,其通过建设 6 英寸和 12 英寸晶圆生产线,采用 “异质 + 异构” 技术路线,加大研发投入等方式,不断提升晶圆制造工艺水平。以下是具体情况:
- 晶圆产线建设:卓胜微建设了 6 英寸和 12 英寸晶圆生产线。6 英寸产线针对 SAW 滤波器相关工艺及产品,截至 2024 年半年度,自稳定规模量产以来实际发货已超过 10 万片,且产品品类已实现全面布局,具备双工器 / 四工器、单芯片多频段滤波器等分立器件的规模量产能力。12 英寸产线用于 IPD 工艺平台,其 12 英寸射频开关和低噪声放大器的第一代工艺生产线已实现工艺通线,并于 2024 年第二季度进入量产阶段,截至 2025 年 4 月,12 英寸晶圆生产线产能可实现 5000 片 / 月的规模。
- 工艺技术研发:卓胜微以 “异质 + 异构” 技术路线突围,异质包括了 HBT(异质结双极型晶体管)、POI 多薄膜 SAW、12 英寸 SOI、多叠层物理材料的器件结构等技术方向。公司采用压电单晶 / 氧化硅复合衬底,通过多层薄膜堆叠优化声波限制能力,开发出 MAX-SAW(高端 SAW 滤波器),该技术在 sub-3GHz 频段性能接近 BAW/FBAR,且成本优势显著。
- 研发投入情况:公司加大研发创新投入,2024 年上半年,研发投入 4.9 亿元,同比增长 94.22%,主要用于全力推进芯卓产业化项目建设,构建产品和工艺制造能力。
- 产业链合作:卓胜微与优质的晶圆制造商建立紧密的合作关系,共同投入资源合作建立晶圆前道生产专线,还与产业链上下游的企业,如封装测试企业、材料供应商等加强合作,确保 IPD 工艺平台从原材料供应到产品封装测试的整个产业链条顺畅运行。