卓胜微 6 英寸滤波器晶圆生产线是其芯卓半导体产业化项目的重要组成部分，对公司从 Fabless 向 IDM 模式转型具有关键意义。以下是具体介绍：

• 建设速度快：卓胜微仅用时 14 个月，便以超出预期规划的速度完成了从厂区建设至工艺通线各项进度节点的规划，成功搭建国际先进的 6 英寸 SAW 滤波器晶圆生产线。

• 产能不断提升：该产线第一期产能规划为 1 万片 / 月，第二期产能规划增加至 1.6 万片 / 月。截至 2024 年半年度，6 英寸滤波器晶圆生产线自稳定规模量产以来实际发货已超过 10 万片，截至 2024 年底，其晶圆出货数量已经超过 10 万片。

• 产品品类丰富：6 英寸滤波器产线的产品品类已实现全面布局，具备双工器 / 四工器、单芯片多频段滤波器等分立器件的规模量产能力，同时集成自产滤波器的 DiFEM、L-DiFEM、GPS 模组等产品成功导入多家品牌客户并持续放量。

• 技术工艺先进：自建产线已具备稳定、规模量产自有品牌的 MAX-SAW 的能力，MAX-SAW 是高端 SAW 滤波器，采用 POI 衬底，具有高频应用、高性能等特性，其性能在 sub-3GHz 以下应用可达到 BAW 和 FBAR 的水平，卓胜微也是本土率先量产高端 SAW 滤波器的厂家。



• 生产效率优异：2024 年末，通过芯卓资源平台实现的供应、生产制造、工艺等能力在 6 英寸滤波器晶圆生产线上得到体现，产品良率稳中有进，国产化方案全面推进，工艺流程与操作规范进一步优化，自动化率达到行业头部水平。