石英晶体膜厚仪测量厚度范围是多少

　　事实上,石英晶体的镀膜仪使用一片Sensor石英晶片来控制镀膜厚度。

　　Sensor晶片一般为AT-cut石英晶片,频率一般有5M和6M两种.随着蒸镀量的增加Sensor的频率会降低,而频率测量是非常准确的,因此对镀膜厚度的测量精度也是非常高的,一般可以到几十纳米级的精度。

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