暂无公开的资料明确说明卓胜微 MAX-SAW 滤波器具体采用哪种绑定工艺。但根据 SAW 滤波器一般的绑定工艺及卓胜微相关技术特点,可进行如下推测:
- 可能采用倒装焊工艺:SAW 滤波器常用的封装形式有金属封装、陶瓷封装、倒装焊封装和圆片级三维封装等,其中倒装焊技术可降低封装体总厚度,实现芯片尺寸级封装(CSP)。卓胜微 MAX-SAW 滤波器追求高性能和小型化,倒装焊工艺符合这一需求,其可能在划片前先对器件焊盘制作铜金属层和焊球,然后划片倒装焊接到 PCB 基板或陶瓷基板上。
- 圆片级互连封装工艺可能性较大:圆片级互连封装技术有利于对所有芯片进行一次性封装,可批量生产,能降低成本并提高生产效率。该工艺通过曝光显影、种子层沉积、电镀等一系列流程,在芯片焊盘上形成铜金属层和焊球。考虑到卓胜微自建了 6 英寸滤波器晶圆生产线,注重生产工艺的优化和成本控制,圆片级互连封装工艺与之具有较高的适配性。
- 注重工艺与材料的匹配:在绑定工艺中,基板材料的选择很关键,需保证其热膨胀系数与滤波器压电材料接近,以避免热失配。MAX-SAW 滤波器采用 POI 衬底,卓胜微在工艺设计时,可能会选择热膨胀系数与之匹配的基板材料,并在绑定工艺中严格控制工艺参数,确保滤波器的性能稳定和可靠性。